جستجو در:
دوره 17، شماره 5 - ( 5-1396 )
جلد 17 شماره 5 صفحات 20-12 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Abdollahi H. Fast and low lost fabrication of SiO2 microcantilever based on Bulk microelectromechanical system. Modares Mechanical Engineering 2017; 17 (5) :12-20
URL: http://mme.modares.ac.ir/article-15-790-fa.html
URL: http://mme.modares.ac.ir/article-15-790-fa.html
عبداللهی حسن. ساخت سریع میکرو کانتیلیور‌های تک‌ماده‌ای از جنس SiO2 با هزینه کم بر پایه فناوری میکروماشین‌کاری حجمی. مهندسی مکانیک مدرس. 1396; 17 (5) :12-20
ساخت سریع میکرو کانتیلیور‌های تک‌ماده‌ای از جنس SiO2 با هزینه کم بر پایه فناوری میکروماشین‌کاری حجمی
عضو هیات علمی دانشگاه هوائی شهید ستاری - مدیر پژوهش دانشکده برق
چکیده: (4627 مشاهده)
از آنجائیکه کانتیلیور‌ها پایه و اساس بیشتر قطعات مبتنی بر ساختارهای MEMS می‌باشند، در این مقاله فرآیند ساخت کانتیلیور با فناوری میکرو ماشین‌کاری حجمی بیان شده است و از آن فرآیند برای ساخت آرایه‌ای از میکروکانتیلیورهای تک‌ماده‌ای از جنس SiO2 استفاده شده است. نتایج حاصل از این مقاله می‌تواند پایه و اساس طراحی و ساخت حسگرهایی باشد که بر پایه کانتیلیور از جنس SiO2 استوار است. طراحی فرآیند ساخت کانتیلیور‌ها در 13 مرحله با 2 ماسک شیشه‌ای و طلقی انجام‌شده است و معلق‌سازی آن‌ها نیز به روش رهاسازی‌تر است. از مهم‌ترین مزایای روش ارائه‌شده می‌توان به عدم نیاز به تجهیزات پیشرفته لایه نشانی، طراحی با حداقل ماسک، سادگی در پیاده‌سازی سریع کانتیلیور‌ها، اجتناب از پیچیدگی رهاسازی از لایه قربانی، رهاسازی کانتیلیور در دمای محیط، کم هزینه بودن و در نهایت امکان پیاده‌سازی آن در آزمایشگاه‌های میکروالکترونیک با تجهیزات محدود اشاره نمود. کانتیلیور‌های تک‌ماده‌ای از جنس SiO2 با طول‌های 50µm، 100، 150، 200، 250، 300، 350 و 400، به ضخامت‌های1µm و 2 و به عرض‌های 20µm و 40 ساخته شدند. مقادیر فرکانس رزونانس و ثابت فنر آن‌ها نیز برای مواد مختلف Si3N4، Si، Au، SiO2، Al و SU8 با ابعاد متفاوت محاسبه‌شده‌اند. نتایج حاصل از تصاویر روبشی نشان می‌دهند که عملیات لیتوگرافی باوجود ناهمواری در پشت زیر لایه به درستی صورت پذیرفته است، کنترل فرآیند ساخت و کنترل عملیات زدایش Si در حد قابل قبول است و کانتیلیور‌ها با استرس ناچیز به خوبی به حالت معلق درآمده‌اند.
نوع مقاله: مقاله پژوهشی کامل |
موضوع مقاله:
سیستمهای میکرو و نانو
دریافت: 1395/10/18 | پذیرش: 1395/11/20 | انتشار: 1396/2/9
دریافت: 1395/10/18 | پذیرش: 1395/11/20 | انتشار: 1396/2/9
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |