در این مقاله طراحی کنترلر برای میکرورزوناتور دو سر درگیر با جرم T-شکل مورد بررسی قرار گرفته است. نیروی الکترواستاتیک با اعمال ولتاژ الکتریکی بین قسمت افقی جرم T-شکل و صفحه الکترود مقابل آن به وجود می‌آید. در این تحقیق، تیر دو سر گیر دار به صورت تیر اویلر – برنولی و جرم T– شکل به صورت جسم صلب در نظر گرفته شده است. معادلات حرکت با استفاده از روش لاگرانژ محاسبه شده‌اند. معادلات جداسازی شده با بهره گیری از روش اغتشاشات (مقیاس های چندگانه) حل شده‌اند. جهت بهبود رفتار دینامیکی سیستم، کنترل فیدبک غیر خطی ارائه شده است. هدف این کنترلر این است که سیستم همانند یک سیستم ارتعاشی یک درجه آزادی خود تحریک مانند ون در پل که خصوصیات ویژه ای در فیلتر پاسخ فرکانسی دینامیکی دارد، رفتار کند. دو سیستم کنترلی به صورت فیدبک نقطه ای و فیدبک گسترده بر روی میکروسیستم اعمال می‌شود و اثر آن بر روی فرکانس رزونانسی غیر خطی و دامنه فرکانسی بررسی می‌شود. نتایج نشان می‌دهد که با تنظیم مقادیر بهره های کنترلر، دامنه کاهش می‌یابد و میزان شیفت رزونانسی کم می‌شود و به ازای مقادیر خاص بهره ها رفتار میکروسیستم همانند رفتار سیستم ارتعاشی ون در پل می‌شود.

واژه‌های کلیدی: تیر اویلر برنولی، تحریک الکترواستاتیک، تئوری اغتشاشات، کنترل غیر خطی، میکرورزوناتور

متن کامل [PDF 5002 kb]   (3536 دریافت)