Modares Mechanical Engineering
مهندسی مکانیک مدرس
Modares Mechanical Engineering
Engineering & Technology
http://mme.modares.ac.ir
1
admin
1027-5940
2476-6909
10.22034/mme
fa
jalali
1387
7
1
gregorian
2008
10
1
8
1
online
1
fulltext
fa
اندازهگیری میزان صافی سطح زبر با استفاده از حسگر خازنی
Measuring Flatness of a Rough Surface
using a Capacitor Probe
توپوگرافی و اندازهگیری صافی سطح زبر با استفاده از اندازهگیری لیزر اینترفرومتری میکروسکوپ زیگو1 ناممکن است. بهدلیل دقت بالا و همچنین مدت زمان کوتاه اندازهگیری، استفاده از روش خازنی برای اندازهگیری توپوگرافی و صافی سطح زبر از جنس کوارتز پیشنهاد میشود. با استفاده از این روش میتوان نقشه خطا را برای فرایندهای اصلاح خطای شکل، مانند پولیشکاری با کنترل کامپیوتری(CCP) ، پرداخت با ذرات ساینده مغناطیسی(MRF) ، روش جت سیال ساینده و اصلاح بهروش یونی، ایجاد کرد. در این تحقیق توپوگرافی خطای شکل سطح زبر بهکمک حسگر خازنی اندازهگیری و قطعه موردنظر با استفاده از روش غبار سیال ساینده اصلاح خطا شد و ایده اصلاح خطای شکل سطح زبر به واقعیت پیوست. مشخص شد که در میان روشهای اندازهگیری میانگین - مساحت، روش اندازهگیری خازنی، توانایی اندازهگیری و تحقق ایده اصلاح خطای شکل، سطح زبر را دارد. اندازهگیری صافی سطح قطعهای که زبری Rc آن در حدود صافی سطح قطعه است یکی از ویژگیهای منحصر بهفرد روش ارائه شده است.
Measuring topography and flatness of nontransparent rough surfaces using a laser interferometer topography measuring (Zygo) machine is impossible. Due to high accuracy and short measuring time, capacitor probe is a good candidate for measuring topography and flatness of a rough surface. Measuring by a capacitor probe is an average area measuring method and it is suitable for measurment of machinment processes such as ion or blast figure correction, computer control polishing (CCP) and magnetorheological finishing (MRF) methods. The idea of a rough surface which directly can be used for corrective figuring is generated by measuring flatness and waviness of it through a capacitive probe. Among the area averaging methods, the surface capacitance method can be used to elaborate the idea of corrective figuring of a rough surface. Measuring flatness of a rough surface whose roughness (Ra) is in the range of out of flatness is another technical property of the presented method.
Keywords: Surface Metrology, Capacitance Measurement, Figure Correcting, Precision Machining.
ماشینکاری دقیق,مترولوژی سطح,اندازهگیری خازنی,اصلاح خطای شکل
Surface Metrology,Capacitance Measurement,Figure Correcting,Precision Machining
87
97
http://mme.modares.ac.ir/browse.php?a_code=A-10-1000-7801&slc_lang=fa&sid=15
Hosaen.
Amirabadi
حسین
امیر آبادی
100319475328460049641
100319475328460049641
Yes
, Babol Noushirvani University of Technology
دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
Mohsen.
Shakeri
محسن
شاکری
100319475328460041830
100319475328460041830
No
Babol Noushirvani University of Technology
دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
Osamo.
Horiuchi
اسامو
هوریچی
100319475328460041831
100319475328460041831
No
Toyohashi University of Technology, Aichi, Japan
دانشگاه صنعتی تویوهاشی، آیچی - ژاپن