دانشگاه تربیت مدرس مهندسی مکانیک مدرس 2476-6909 24 6 2024 05 21 Numerical Modeling of Piezoelectric Micropump مدل سازی عددی میکروپمپ پیزوالکتریک 399 409 11403 10.48311/MME.24.6.399 FA حسن نعمتی دانشگاه تهران مجید رجبی دانشگاه علم و صنعت ایران Journal Article 1970 01 01 Objective: Advances in microelectromechanical (MEMS) technologies over the past few decades have contributed to the rapid development of a wide range of microfluidic devices with different functionalities. Fluids are driven through microfluidic systems, therefore, in the current research, it is intended to parametrically investigate the effects of the main parameters, namely length, width and angle of attack of valves, piezoelectric length and applied voltage. Method: The approach of the present research is applied and analytical-experimental with numerical simulations where the tensile force is calculated using COMSOL Multiphysics software and the equations are calculated using the fully coupled algorithm in COMSOL Multiphysics. Findings: The results of the present research show that the main parameters significantly affect the performance of the designed micro pump. So that the applied voltage is 400 volts, the angle of attack is 45 degrees and the width of the valves is 6 micrometers, respectively for the piezoelectric length of 4, 2 and 5 mm, the flow rate is 6. 0.6, 9.6 and 16.6 microliters per minute are obtained. For valve widths of 6 and 8 micrometers, optimal attack angles of 60 and 65 degrees, the corresponding flow rates are 11.11 and 5.9 microliters per minute, respectively. Conclusion: Based on the results of the present research and the investigation of the behavior of the micropump and its output flow rate changes in different working conditions, as the length of the valves increases, the flow rate provided increases. Finally, there is a favorable condition for the width and angle of attack of the valves. This optimal width does not depend on the flow speed. <span dir="RTL">هدف<span dir="RTL">: پیشرفت ها در تکنولوژی‌های میکرو الکترومکانیکی (MEMS<span dir="RTL">) طی چند دهه گذشته به توسعه سریع طیف وسیعی از دستگاه‌های میکرو فلوئیدیک با عملکردهای مختلف کمک کرده است از میان دستگاه‌های مختلفی که پیشنهادشده‌اند، میکرو پمپ‌ها که انرژی لازم برای راندن سیالات را از طریق سیستم‌های میکرو فلوئیدیک فراهم می‌کنند؛ بنابراین در پژوهش حاضر قصد براین است تا به‌طور پارامتری اثرات پارامترهای اصلی، یعنی طول، عرض و زاویه حمله سوپاپ‌ها، طول پیزوالکتریک و ولتاژ اعمال‌شده را موردبررسی قرار گیرد. روش: رویکرد پژوهش حاضر کاربردی محور و تحلیلی -آزمایشی با شبیه‌سازی‌های عددی که نیروی کشش و معادلات با استفاده از الگوریتم کاملاً کوپل شده درنرم افزار COMSOL Multiphysics<span dir="RTL"> محاسبه می‌شوند. یافته‌ها: نتایج حاصل از پژوهش حاضر نشان می‌دهد پارامترهای اصلی به‌طور قابل‌توجهی عملکرد میکرو پمپ طراحی‌شده را تحت تأثیر قرار می‌دهند.به طوری که ولتاژ اعمال‌شده ۴۰۰ ولت، زاویه حمله ۴۵ درجه و عرض شیرها ۶میکرومتر،به ترتیب برای طول پیزوالکتریک ۴،۲و۵ میلی متر دبی جریان6/0، 9/6 و6/16 میکرو لیتر بر دقیقه به دست می‌آید. برای عرض‌های شیر ۶ و۸میکرومتر، زاویه‌های حمله بهینه ۶۰ و ۶۵ درجه ، دبی مربوطه به ترتیب 1/11 و9/5 میکرو لیتر در دقیقه است. نتیجه‌گیری: بر اساس نتایج حاصل از پژوهش حاضر و بررسی رفتار <span dir="RTL">میکرو پمپ <span dir="RTL">و <span dir="RTL">تغییرات <span dir="RTL">دبی <span dir="RTL">خروجی <span dir="RTL">آن <span dir="RTL">در <span dir="RTL">شرایط <span dir="RTL">کاری <span dir="RTL">مختلف، هرچه طول شیرها افزایش یابد، دبی ارائه‌شده بیشتر می‌شود. درنهایت، یک شرط مطلوب برای عرض و زاویه حمله سوپاپ‌ها وجود دارد؛ که این عرض مطلوب به‌سرعت جریان بستگی ندارد.</span></span></span></span></span></span></span></span></span></span></span></span></span></span> https://mme.modares.ac.ir/article_11403_09859012c567eb2b02d10dddf624e9d3.pdf