---

---

در سال‌های اخیر ایجاد ساختارهای سه‌بعدی و کانال‌های کوچک هدایت کننده جریان سیال، بر روی مواد نارسانای جریان الکتریکی نظیر پلی‌دی‌متیل سیلوکسان (PDMS)، جهت کاربرد در سیستم‌های الکترومکانیکی و پزشکی بسیار مورد توجه قرار گرفته است. عموما جهت ایجاد میکروکانال در پلی‌دی‌متیل سیلوکسان از فرایند لیتوگرافی استفاده می شود که از جمله محدودیت­های این فرایند می‌توان به زمان و هزینه بالای فرایند و دیواره‌های زاویه‌دار اشاره نمود. در تمامی مصارف، عملکرد کانال وابسته به کیفیت سطح آن است. در این پژوهش برای اولین بار فرآیند ماشین‌کاری تخلیه الکتروشیمیایی (ECDM) که با هزینه کم و نرخ براده برداری مناسب قادر به ایجاد کانال‌ بر روی مواد نارسانا است جهت ایجاد میکروکانال در پلی‌دی‌متیل سیلوکسان استفاده شده است. از سایر مزایای این روش می­توان به امکان دستیابی به عمق­های بالا اشاره کرد. بدین منظور تأثیر پارامترهایی فرایند نظیر غلظت الکترولیت، سرعت دورانی و پیشروی، اختلاف پتانسیل اعمالی  بر کیفیت سطح و زبری سطح بررسی شد. ملاحظه شد که ماشین‌کاری تخلیه الکتروشیمیایی قادر است کانال­های با کیفیت سطح مشابه روش لیتوگرافی ایجاد کند. همچنین ملاحظه شد که با کاهش سرعت دورانی از ۱۰۰۰۰ دور بر دقیقه تا ۰، زبری سطح ۲ تا ۴ برابر افزایش می­یابد این امر بدلیل افزایش ضخامت فیلم گاز و افزایش جرقه­های سرگردان از سطح ابزار و قطعه کار با کاهش سرعت دورانی رخ می­دهد. همچنین مقدار زبری سطح کانال ایجاد شده با افزایش ولتاژ از ۳۸ به ۴۲ ولت، به‌اندازه ۳۶ درصد افزایش می‌یابد. غلظت الکترولیت ۲۵% منجر به بهترین زبری سطح در تمام نمونه­ شد.

---

ماشین کاری به روش تخلیه الکتروشیمیایی رویکردی نوین در ماشین کاری مواد سخت، شکننده و نارسانای الکتریکی (نظیر شیشه و سرامیک) می باشد. ماشین کاری این نوع مواد با روش های متداول ماشین کاری که عمدتاً بر مبنای برش مکانیکی قطعه استوار هستند، به دلیل سختی و تردی بالای این قطعات، بسیار مشکل است. لذا، اخیراً توجه به ماشین کاری تخلیه الکتروشیمیایی جهت ماشین کاری این مواد، به دلیل سهولت در اجرا، هزینه ی کم و نرخ براده برداری مناسب، مورد توجه قرار گرفته است. یکی از پارامترهای خروجی بسیار مهم در این فرآیند، عمق ماشینکاری شده می باشد. در این مقاله سوراخکاری دو مرحله انجام و مورد بررسی قرار می گیرد و نتایج آن با حالت سوراخ کاری معمولی در شرایط یکسان مقایسه می شود. نتایج نشان می دهد روش جدید باعث افزایش عمق سوراخ شده که به ترتیب در ولتاژهای ۳۳ و ۳۸ ولت افزایش عمق در حدود ۳۶% و ۷۰% حاصل شد. همچنین، اختلاف قطر بیشتر باعث افزایش عمق سوراخ گردیده است.

---

امروزه استفاده از موادی مانند شیشه به دلیل خواصی مانند سختی بالا، مقاومت شیمیایی و سایش بالا، به‌طور گسترده در ساخت تجهیزات میکرونی، الکترونیکی و تجهیزات پزشکی توسعه یافته است، اما به دلیل سختی بالا و چقرمگی پایین، باربرداری مکانیکی و ایجاد ساختارهای میکرونی برروی آن با روش‌های سنتی دشوار است. روش تخلیه الکتروشیمیایی یک روش نوین ماشینکاری است که قابلیت ماشینکاری مواد سخت و نارسانای الکتریکی از جمله شیشه را دارد. در فرآیند سوراخکاری تخلیه الکتروشیمیایی، دقت ابعادی سوراخ و به ویژه ناحیه ورودی آن حائز اهمیت است اما در بیشتر موارد، ورودی سوراخ دارای شیب زیاد بوده که منجر به اضافه برش زیاد و مخروط‌شدگی دیواره سوراخ می‌گردد. در این تحقیق برای حذف ناحیه شیب‌دار ورودی سوراخ (عامل کاهش دقت سوراخکاری) از قطعه واسط با ضخامت کم استفاده شده است که پس از سوراخکاری از سطح قطعه اصلی جدا خواهد شد. نتایج نشان داد که این روش اضافه برش نواحی ورودی سوراخ را با توجه به قطر ابزار مورد استفاده، بین ۵۰ تا ۷۶% کاهش داده است. همچنین، نتایج سختی‌سنجی قطعه‌کار نشان داد با استفاده از قطعه واسط، سوراخ نهایی دارای ناحیه متاثر از حرارت کوچکتر در اطراف سوراخ است. 

---

امروزه استفاده از موادی مانند شیشه به دلیل خواصی مانند سختی بالا، مقاومت شیمیایی و سایش بالا، به­طور گسترده در ساخت تجهیزات میکرونی، الکترونیکی و تجهیزات پزشکی توسعه یافته است، اما به دلیل سختی بالا و چقرمگی پایین، باربرداری مکانیکی و ایجاد ساختارهای میکرونی برروی آن با روش­های سنتی دشوار است. روش تخلیه الکتروشیمیایی یک روش نوین ماشینکاری است که قابلیت ماشینکاری مواد سخت و نارسانای الکتریکی از جمله شیشه را دارد. در فرآیند سوراخکاری تخلیه الکتروشیمیایی، دقت ابعادی سوراخ و به ویژه ناحیه ورودی آن حائز اهمیت است اما در بیشتر موارد، ورودی سوراخ دارای شیب زیاد بوده که منجر به اضافه برش زیاد و مخروط‌شدگی دیواره سوراخ می‌گردد. در این تحقیق برای حذف ناحیه شیب‌دار ورودی سوراخ (عامل کاهش دقت سوراخکاری) از قطعه واسط با ضخامت کم استفاده شده است که پس از سوراخکاری از سطح قطعه اصلی جدا خواهد شد. نتایج نشان داد که این روش اضافه برش نواحی ورودی سوراخ را با توجه به قطر ابزار مورد استفاده، بین ۵۰ تا ۷۶% کاهش داده است. همچنین، نتایج سختی‌سنجی قطعه­کار نشان داد با استفاده از قطعه واسط، سوراخ نهایی دارای ناحیه متاثر از حرارت کوچکتر در اطراف سوراخ است.