دوره 23، شماره 1 - ( دی 1401 )                   جلد 23 شماره 1 صفحات 31-25 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print

Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Kavand H, Koohsorkhi J, askari moghaddam R. Local stresses effect on micro-machined silicon diaphragm on zinc oxide nanowires piezoelectric sensors. Modares Mechanical Engineering 2022; 23 (1) :25-31
URL: http://mme.modares.ac.ir/article-15-59061-fa.html
کاوند حامد، کوهسرخی جواد، عسکری مقدم رضا. بررسی تاثیر تنش های موضعی بر روی دیافراگم سیلیکانی طرح دار روی حسگرهای پیزوالکتریک نانو سیم های اکسید روی. مهندسی مکانیک مدرس 1401; 23 (1) :31-25

URL: http://mme.modares.ac.ir/article-15-59061-fa.html

بررسی تاثیر تنش های موضعی بر روی دیافراگم سیلیکانی طرح دار روی حسگرهای پیزوالکتریک نانو سیم های اکسید روی
حامد کاوند1، جواد کوهسرخی*2، رضا عسکری مقدم3
1- آزمایشگاه تحقیقاتی ساخت ادوات پیشرفته میکرو و نانو، دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران
2- آزمایشگاه تحقیقاتی ساخت ادوات پیشرفته میکرو و نانو، دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران ، koohsorkhi@ut.ac.ir
3- دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران
چکیده:   (47 مشاهده)
خواص الکتریکی مواد پیزوالکتریک نانوساختاری توجه بسیاری از محققین را در دهه گذشته به خود جلب کرده است. این ویژگی­ها در میکرو حسگرهای پیزو الکتریک استفاده می­شود. نیروی محرکه مکانیکی معمولاً نتیجه تماس بین سطح پیزوالکتریک و یک جسم خارجی است. در این مقاله، تاثیر نیروی محرکه مکانیکی با استفاده از یک موج هوایی (آکوستیک) و یا خلاء بر روی دیافراگم سیلیکانی، مورد بررسی قرار گرفته شده است. تنش های موضعی ایجاد شده روی دیافراگم در اثر برخورد یک موج هوایی، تاثیر قابل توجهی روی ولتاژ پیک تا پیک حسگر پیزوالکتریک دارد که با اندازه گیری تغییرات این پارامتر می توان شدت موج هوایی را بدست آورد. برای بررسی این موضوع، دیافراگم بدون طرح و طرحدار که شامل میکروساختارهای سیلیکانی است مورد بررسی قرار گرفته شد و مشخص شد که ساخت یک حسگر پیزوالکتریک روی یک دیافراگم نازک و طرح دار می­تواند باعث افزایش ولتاژ پیک تا پیک تا حدود 3/1 برابر گردد. آشکارسازی این تنش­ها با استفاده از ماده پیزوالکتریک لایه نشانی شده روی دیافراگم نازک و منعطف، می­تواند به عنوان یک میکروفن پیزوالکتریک و یا یک فشار سنج عمل کند که وجود میکروساختارها روی دیافراگم باعث افزایش حساسیت آنها خواهد شد.
 
واژه‌های کلیدی: تنش مکانیکی، دیافراگم سیلیکانی، میکرو ساختارها، نانوساختارهای پیزوالکتریک، نانوسیم های اکسید روی، ادوات میکرو الکترومکانیکی
متن کامل [PDF 606 kb]   (20 دریافت)    
نوع مقاله: پژوهشي اصيل | موضوع مقاله: سیستم های میکرو و نانو
دریافت: 1400/11/7 | پذیرش: 1401/5/23 | انتشار: 1401/10/10
ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA
ارسال پیام به نویسنده مسئول

بازنشر اطلاعات
Creative Commons License این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است.